針對超高真空互聯應用領域進行專業設計;
自動化程度高:可實現全自動控製樣品傳送;
位置重複性好:位置重複誤差小於0.2mm;
傳樣機械臂在腔體內可360°旋轉;
整體耐高溫:工作溫度大於150℃;
圓形樣品傳樣腔
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